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氫氣MEMS氣體傳感器

氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發(fā)的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設計,諧振頻率高,功耗低,響應時間短,提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板,并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作。適用于家用等檢測氫氣氣體濃度的場合。

  • 氣體類型: 氫氣

產(chǎn)品介紹:

氫氣MEMS氣體傳感器是為了降低使用成本、方便家用而研發(fā)的氫氣傳感器。氫氣MEMS氣體傳感器采用微型化設計,諧振頻率高,功耗低,響應時間短,提高了傳感器本身的靈敏度。利用MEMS工藝制作微熱板,并所使用的氣敏材料是在清潔空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料作。適用于家用等檢測氫氣氣體濃度的場合。

產(chǎn)品參數(shù):

檢測氣體:H2

H2測量范圍:0-5000ppm

H2測量靈敏度SRO/RS2

H2濃度斜率a:≤0.9

回路電壓Vc:≤24V DC

加熱電壓VH2.80.1V AVorDC

負載電阻RL:可調(diào)

加熱電阻RH80?土20?(室溫)

加熱功耗PH:≤80mW

敏感體電阻Rs1K?~30K?

溫度:20°C2°C

濕度:55%RH5%RH

圖片關鍵詞

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